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六槽式无尘烘箱

  • 产品编号:123121324516
  • 产品类别:高温烘箱|烤箱 >> 100级无尘烘箱
  • 产品型号:TM100-6
  • 产品备注:
  • IC/LCD制程设备 无尘烘箱

详细描述

产品特点:
◆ 无尘烘箱内、中桶材质采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,外膛采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE)
◆ 全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生PARTICLE
◆ 耐高温,能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#。
◆ 无尘烘箱(六槽)采用叠层组合式,减少场地占用面积,效率高。
适用范围:
 无尘烘箱应用于:LCD、CMOS、IC制程烘烤
技术参数:
 型   号  
TM80
 TM100
TM150
内部容积
 80L
 100L
 125L
内部尺寸
50×40×40
50×45×45
50×50×50
 无尘烘箱的内尺寸表示为:W×H×D   宽×高×深  单位:cm
功率(KW)
3.0
3.5
4.0
系  统
 PID智能调节或可编程PID自动调节
温度范围
 RT+10℃~200℃
温度偏差
 ±1.0℃
波 动 度
 ±0.5℃
洁 净 度
 100级
内体材料
 SU304不锈钢板
外箱材料
 SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板(喷塑)
保温材料
 超细玻璃棉
加 热 器
 镍铬合金电热式加热器
循环系统
 轴流风机
控制系统
 高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器
标准配置
 样品架2层、电源线1条
可选配置
 测试孔(¢25m位于门上)、增加的样品架

深圳市富易达仪器有限公司 官方网站

 

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